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對(duì)乙酰氧基苯乙酮

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對(duì)乙酰氧基苯乙酮

    對(duì)乙酰氧基苯乙酮可用于合成作為光致抗蝕劑主要成分的聚對(duì)羥基苯乙烯。聚對(duì)羥基苯乙酮系列的化學(xué)增幅型光致抗蝕劑是較為主流的光致抗蝕劑。用于處理光蝕刻集成電路,制造芯片的關(guān)鍵技術(shù)之一。

    對(duì)對(duì)羥基苯乙烯為原料,經(jīng)對(duì)羥基苯基甲基甲醇制備對(duì)乙酰氧基苯乙烯的方法。這種合成方法工藝步驟少,而且對(duì)羥基苯基甲基甲醇在酸催化劑和乙?;噭┑拇嬖谙?,加熱脫水直接形成對(duì)乙酰氧基苯乙烯。

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